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TRCX：摻雜過程分析

時(shí)間:2021-12-29 21:03來源:訊技光電作者: 技術(shù)部點(diǎn)擊:次打印

在 LTPS 制造過程中，使用自對(duì)準(zhǔn)掩模通過離子注入來金屬化有源層。當(dāng)通過 TRCX 計(jì)算電容時(shí)，應(yīng)用與實(shí)際工藝相同的原理。工程師可以根據(jù)真實(shí)的 3D 結(jié)構(gòu)提取準(zhǔn)確的電容，并分析有源層離子注入前后的電位分布，如下圖所示。

(a)FIB

(b) 摻雜前后對(duì)比

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