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干涉光學(xué)測(cè)試

光學(xué)干涉裝置廣泛用于精密的表面或波前測(cè)試和細(xì)節(jié)分析，特別是菲索干涉儀作為工業(yè)上應(yīng)用最廣泛的表面輪廓檢測(cè)技術(shù)之一，正占據(jù)著重要的地位。我們?cè)赩irtualLab Fusion中構(gòu)建了一個(gè)基于斐索干涉儀的測(cè)試光學(xué)系統(tǒng)，使用幾種類(lèi)型的表面作為測(cè)試對(duì)象，并觀察不同的干涉條紋。此外，還介紹了用于鏡頭測(cè)試的馬赫-曾德?tīng)柛缮鎯x。 
 

用于光學(xué)測(cè)試的菲索干涉儀
 

 

利用非序列場(chǎng)追跡技術(shù)建立了菲索干涉儀，給出了不同測(cè)試表面的干涉條紋。
 

馬赫-曾德?tīng)柛缮鎯x

 

 

我們?cè)赩irtualLab Fusion中構(gòu)建了馬赫-曾德?tīng)柛缮鎯x，并演示了元件的傾斜和偏移對(duì)干涉條紋的影響。

 

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