Essential Macleod 12.6新版本已經正式發布,更新內容如下:
Core
1. 現在可以隨時訪問“厚層設計”的偏振選項,在此之前,當使用入射角列表時,偏振選項無法更改。
2. 散射工具(scattering tool)現在可以計算BRDF/BTDF以及角分辨散射。
3. 在散射工具中添加了散射積分計算。總散射積分是角分辨散射在反射半球和透射半球上的積分。為方便起見,反射半球和透射半球的散射積分是分開提供的。
4. 現在,Essential Macleod可以讀取日立光譜儀生成的udss文件。Essential Macleod將帶有udss擴展名的文件假定包含日立格式的數據,并自動解碼。
5. 反演工程(Reverse Engineer)現在支持在不同基板上進行測量。每個測量頁面都可以指定用于測量的基板。如果基板為空白,就會調用“設計”(Design)頁面的基板。
6. 現在的設計可以導出使用于Synopsys的LightTools軟件。使用File>Export>LightTools來導出數據
Runsheet
1. Runsheet現在可以導出一個設計文件,該文件包含在Runsheet中使用的監測芯片的預期厚度。選擇要導出的包含芯片的層(或該芯片上的一個層),然后使用File>Export>Chip Design來創建設計。
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