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利用衍射擴(kuò)散器使準(zhǔn)分子激光光束均勻化(2)
時間:2011-08-25 09:34來源:訊技光電作者: 技術(shù)部點擊:次打印

·相位階數(shù):8

發(fā)散傳輸器相位

 

載入光路徑圖

 


·載入文件HSL.002_Homogenization_Excimer_Laser_by_DOE_01.lpd。

 

· 該文件在本案例VL_Samples文件夾中。

 

高斯型面光源

 


 

雙擊Gaussian Type Plane Source打開編輯對話框。
 

·Gaussian Type Plane Source利用一些非相干高斯光源來模擬空間相干光源。

· 光源需通過以下設(shè)置來對準(zhǔn)分子激光束建模。

· 第一步將波長設(shè)為351nm。

· Power Spectrum Type下拉框中選擇Single Wavelength。(VirtualLab同樣支持多波長的模擬。)

 


·轉(zhuǎn)到Spatial Parameters

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