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用于測量光學元件散射光的儀器-散射儀(2)

時間:2015-03-23 21:35來源:訊技光電作者: 營銷部點擊:次打印

• 評估/檢查ISO17025認證

• EMC測試（電磁兼容性）

• 儀器零件的機械制圖和CAD文件

• 光學零件的數(shù)據(jù)表

• ZEMAX文件

• 電路圖

• 單一零件列表

圖2：散射幾何：極角和散射方位角，入射角以及坐標

圖3：ALBATROSS儀器，將EUV收集器反射鏡安裝在樣品定位系統(tǒng)上用于粗糙度測量和繪制整個表面

圖4：在不同波長下的儀器測試以及超光滑玻璃基底在523nm下的ARS

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