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小型光學(xué)粗糙度傳感器Horos

1.Horos—光學(xué)粗糙度傳感器。

2.測量樣本。

3.鉆石旋轉(zhuǎn)加工表面的測量結(jié)果。

4.Horos—光學(xué)材料粗糙度傳感器以及白光干涉儀測量結(jié)果比較 （樣本：1.-Mo/Si-鏡子，2-Ti-膜，3-鉆石旋轉(zhuǎn)法下Al-表面）。

 

系統(tǒng)簡介
 

隨著光學(xué)技術(shù)不斷地發(fā)展，對于光學(xué)材料或光學(xué)薄膜的表面性能測量的需求也日益增多。horos傳感器可直接測量表面粗糙程度。它具有非接觸式測量，快速測量的特點(diǎn)。并且它的體積小便于移動。被測樣本的規(guī)格從機(jī)械零件到具有納米結(jié)構(gòu)的光學(xué)表面均可。

 

特征及技術(shù)參數(shù)
 

- 可測量參數(shù)：粗糙度相關(guān)一系列值 （例如PSD，傾斜度等等），3D下散射光分布，檢測是否各項(xiàng)同性等。

- 靈敏度R_q<0.5 nm

- 測量時間： < 1 s。

- 與輪廓儀直接相連——測量結(jié)果可直接比較。

 

 

傳感器：
 

Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一種小型的，便于移動的光學(xué)傳感器。它以散射測量為基礎(chǔ)，用于測量表面粗糙程度。測量范圍可從微米級到亞納米級。

 

應(yīng)用：

可在下列領(lǐng)域中進(jìn)行快速，不受周圍環(huán)境干擾的質(zhì)量檢測：

- 平面或復(fù)雜（自由形狀）表面。

- 光學(xué)加工（表面加工，鍍膜，制作模具等）。

- 機(jī)械零件。

- 汽車工業(yè)。