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GLAD：光刻成像系統(tǒng)的建模

概述

該系統(tǒng)由一個聚光鏡、一個傾斜球體和一個Schwartzchild設(shè)計的中繼鏡組成。光源被成像到中繼鏡的光瞳中。光束在物體掩模處會聚，在中繼透鏡的光瞳處形成點像。在中繼透鏡的瞳孔處，多條條紋圖案將形成一個中心波瓣和側(cè)波瓣。如下圖所示：

 

 掩模上的條形圖案在中繼瞳孔中產(chǎn)生旁瓣

 窄條產(chǎn)生寬的旁瓣，僅部分通過中繼入口瞳孔

 寬條產(chǎn)生較窄的旁瓣，更容易通過中繼入口瞳孔

 部分通過旁瓣會產(chǎn)生部分解析
 

系統(tǒng)描述
 

本例介紹了如何采用全局衍射分析對部分相干進行建模。如上圖所示，整體裝置是一個科勒照明系統(tǒng)，其中有一個聚光元件能夠?qū)⒎窍喔晒庠吹墓膺M入轉(zhuǎn)像透鏡的孔徑中。在一個經(jīng)典的科勒照明系統(tǒng)中，點光源通過一個聚光鏡成像在轉(zhuǎn)像系統(tǒng)的光瞳中。光源照亮物體掩膜面，并在最后的成像面上得到適當(dāng)?shù)姆糯�。為了對光束合理采樣，光源放在物的共軛點處，這樣在光源面上，點光源將是有一定維度的，而不是像理想點光源那樣，會引起混沌。對一個具有一定尺寸的光源，它所成的像就是部分相干的。如果光源足夠大，大到可以填滿轉(zhuǎn)像透鏡的孔徑的話，所成的像將是非相干的。

模擬結(jié)果
 

三柵條圖樣的部分相干成像

   

兩組七柵條圖樣建模對比