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共聚焦掃描顯微鏡的工作原理

摘要
 

共聚焦掃描顯微鏡在 1950 年代由 M. L. Minsky 發(fā)明并獲得專利，后來又以采用激光作為光源的新穎性獲得了廣泛的應(yīng)用。 通過使用空間針孔來阻擋從焦平面外散射或反射的光，有助于提高縱向分辨率和對比度。 在本例中，我們在VirtualLab Fusion 中構(gòu)建了一個(gè)共聚焦掃描顯微鏡，并使用具有交替脊和凹槽的金屬光柵作為測試對象來演示其工作原理。
 

建模任務(wù) 

共聚焦掃描顯微鏡是如何工作的，它如何檢測物體橫向位移導(dǎo)致的功率變化？

 

焦點(diǎn)區(qū)域的探測場
 

 

測試對象的直接反射
 

 

測試對象的直接反射
 

 

測試對象的像
 

 

測試對象的像
 

 

功率測量與測試對象的橫向偏移