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F-Theta掃描鏡頭的性能評估
時間:2022-08-23 17:46來源:訊技光電作者: 技術(shù)部點擊:次打印
摘要
 
F-Theta 透鏡通常用于Galvo類掃描儀的激光材料加工系統(tǒng)。 對于這樣的鏡頭,聚焦點沿目標(biāo)平面的位移與鏡頭焦距和掃描角度的乘積成正比。然而,沒有完美的 F-Theta 系統(tǒng),因此在任何給定的系統(tǒng)中都會出現(xiàn)與理想行為的偏差。 借助快速物理光學(xué)建模和設(shè)計軟件 VirtualLab Fusion 中的掃描源,我們通過測量不同角度下實際光斑位置與期望值之間的偏差來分析給定 F-Theta 透鏡的性能。
 
任務(wù)描述
 
系統(tǒng)構(gòu)建模塊 - 掃描光源
  
 
 
可以使用掃描光源定義生成一組在不同方向傳播的截斷平面波的多模光源。
 
用戶可以指定應(yīng)考慮多少模式并定義強度分布。 更多信息如下:

如何設(shè)置一個掃描光源
 
系統(tǒng)構(gòu)建模塊 – 鏡頭系統(tǒng)組件

  
鏡頭系統(tǒng)組件允許輕松定義由各種界面組成的組件。 可以包括例如:平面、球形和圓柱形界面以及配置它們之間的介質(zhì)。
 
VirtualLab Fusion技術(shù)系統(tǒng)構(gòu)建塊——參數(shù)耦合

  
通過參數(shù)耦合,可以將系統(tǒng)中不同參數(shù)的值聯(lián)系起來。 在此用例中,此功能用于自動將探測器圍繞所需焦點居中。 更多信息如下:

VirtualLab Fusion中的參數(shù)耦合
 
系統(tǒng)構(gòu)建模塊——畸變分析器

 
實際焦點位置與參考焦點位置之間的偏差表明了 F-Theta 鏡頭的性能。 可以使用畸變分析器計算此信息。
 
雖然實際焦點位置將通過模擬計算,但參考焦點位置可以指定為角度本身的線性或其切線。
 
總結(jié)-組件…


 
系統(tǒng)印象

 
性能評估 – 光斑位置偏差

畸變分析器可以快速估計 F-Theta 鏡頭的性能,可以通過將場傳播到焦平面來進行驗證。
 
性能評估 - 光斑直徑測量


 
光斑直徑(FWHM)

 
此外,該結(jié)果可用于對 F-theta 系統(tǒng)產(chǎn)生的斑點進行更深入的分析。 例如,對光斑大小的檢查表明,對于更高的輸入角度,單個焦點變得越來越橢圓。
 
VirtualLab Fusion技術(shù)

 
文件信息

 
更多閱覽
- Performance Analysis of Laser Scanning System
- How to Set Up a Scanning Source
- Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion
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