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薄元近似（TEA）與傅立葉模態(tài)方法（FMM）在光柵建模中的對(duì)比

摘要

薄元近似（TEA）是一種廣泛使用的方法，例如傅立葉光學(xué)計(jì)算光柵的衍射效率。 然而，眾所周知，相對(duì)較小的光柵周期，該近似變得不準(zhǔn)確。 在此示例中，我們選擇兩種類型的透射光柵：正弦光柵和閃耀光柵。 我們同時(shí)使用TEA和FMM（也稱為RWCA，是嚴(yán)格算法）來分析具有不同周期的此類光柵，并通過比較結(jié)果來研究這兩種方法的特性。

     

建模任務(wù)

 

正弦光柵—效率與高度（TEA）

 

正弦光柵—透射相位曲線

 

正弦光柵—透射相位曲線

 

正弦光柵—衍射效率

 

正弦光柵—效率與周期

 

正弦光柵—特定周期下的相位曲線

 

閃耀光柵—效率與高度（TEA）

 

閃耀光柵—透射相位曲線

 

閃耀光柵—衍射效率

 

閃耀光柵—效率與周期

 

閃耀光柵—特定周期下的相位曲線

 

VirtualLab Fusion一瞥

 

VirtualLab Fusion工作流程

                                  

 

VirtualLab Fusion技術(shù)

 

文件信息

 

 

進(jìn)一步閱讀
- 用于光導(dǎo)耦合的傾斜光柵分析

- 光柵級(jí)次分析器