摘要
光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計(jì)算得到，對(duì)于光柵的每個(gè)衍射階次都給出了這兩個(gè)量。VirtualLab Fusion可通過(guò)全矢量的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）來(lái)計(jì)算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器，可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。
光柵詳細(xì)說(shuō)明
•為了演示一維光柵的光柵分析器，我們使用帶HR涂層的正弦光柵。
•可以在堆棧中指定光柵參數(shù)，并且在光柵組件的編輯對(duì)話框中訪問(wèn)該參數(shù)。
光柵階次分析器設(shè)置
•定義光柵結(jié)構(gòu)后，可以配置光柵階次分析器。
•可以指定各種輸出選項(xiàng)。
•可以在光學(xué)設(shè)置視圖中雙擊它的元件打開分析器的編輯對(duì)話框。
常規(guī)設(shè)置
•在“常規(guī)”選項(xiàng)卡中，可以選擇是否分析透射率和/或反射率。
•另外，可以指定是否要評(píng)估透射、吸收和反射的總和，以及是否要顯示極坐標(biāo)圖。
單個(gè)階次設(shè)置
•在“單個(gè)階次”選項(xiàng)卡中，可以選擇是否記錄單個(gè)階次的信息。
•如果想使用VirtualLab Fusion的參數(shù)運(yùn)行或參數(shù)優(yōu)化來(lái)分析和優(yōu)化特定階次的光柵，則此選項(xiàng)非常有用。
單個(gè)階次設(shè)置
探測(cè)器標(biāo)簽頁(yè)中的輸出
•如果在光學(xué)設(shè)置中處理了光柵階次分析器，則單階次輸出值將記錄到檢測(cè)器結(jié)果選項(xiàng)卡中。
•這些值在參數(shù)運(yùn)行和參數(shù)優(yōu)化中也可用。
極坐標(biāo)圖中的輸出
•光柵階次分析器的極坐標(biāo)圖輸出繪制了反射階和透射階的效率與x-z平面中角度的關(guān)系。
•它還提供了一個(gè)表格，顯示了階次的所有角度和效率。
極坐標(biāo)圖設(shè)置
•可以使用鼠標(biāo)滾輪、屬性窗口和功能區(qū)來(lái)放大極坐標(biāo)圖。
•可以通過(guò)右鍵單擊圖表來(lái)配置顯示哪些階次。
階次匯集輸出
•“光柵階次匯集”對(duì)象用于在不同坐標(biāo)上可視化計(jì)算出的光柵效率或瑞利系數(shù)。
•用戶可以通過(guò)屬性瀏覽器設(shè)置各種選項(xiàng)來(lái)配置應(yīng)顯示的數(shù)據(jù)
階次匯集設(shè)置
階次匯集設(shè)置
•在屬性瀏覽器的視圖選項(xiàng)卡中，用戶可以設(shè)置其他視圖參數(shù)。
•對(duì)于自定義視圖，最重要的是顏色設(shè)置。
•用戶可以選擇視圖的背景色以及用于定義顯示顏色數(shù)據(jù)值的顏色查找表。
自定義階次匯集設(shè)置的例子
自定義階次匯集設(shè)置的例子
自定義階次匯集設(shè)置的例子
錐形衍射的可視化
•在光柵的位置和方向定義中，用戶可以定義任意方向。
•可以在光柵的編輯對(duì)話框中的“位置/方向”選項(xiàng)卡中完成。
•此例中，Theta = 40°和Phi = 40°。
效率vs衍射階次
效率vs衍射階次位置
效率vs衍射階次笛卡爾角
文件信息
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