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全場光學相干掃描干涉儀

摘要

 

掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測量的技術。 通過利用白光光源的低相干性，僅當光程長度差在相干長度內(nèi)時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 因此，它可以實現(xiàn)精確的顯微鏡測量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構(gòu)建并用于測量表面平滑變化的樣品。

 

建模任務

 

 

仿真干涉條紋

 

 

走進VirtualLab Fusion

 

 

VirtualLab Fusion中的工作流程

 

•設置輸入場
−基本光源模型[教程視頻]
•使用導入的數(shù)據(jù)自定義表面輪廓
•定義元件的位置和方向
− LPD II：位置和方向[教程視頻]
•正確設置通道以進行非序列追跡
−非序列追跡的通道設置[用例]
•使用參數(shù)運行檢查影響/變化
−參數(shù)運行文檔的使用[用例]
 

 

VirtualLab Fusion技術

 

文件信息

 

 

更多閱覽
-   Laser-Based Michelson Interferometer and Interference Fringe Exploration
-   Mach-Zehnder Interferometer
-   Fizeau Interferometer for Optical Testing