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傾斜光柵的參數(shù)優(yōu)化與容差分析

摘要

 

對(duì)于許多應(yīng)用來(lái)說(shuō)（例如背光、光學(xué)連接器和近眼顯示），如何將光高效地耦合到波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中是一個(gè)重要的問(wèn)題。對(duì)于這些應(yīng)用，傾斜光柵因?yàn)槟軌蚋咝У伛詈蠁紊�光而被熟知。在此示例中，介紹了使用嚴(yán)格的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）對(duì)傾斜光柵進(jìn)行優(yōu)化。對(duì)于給定的方向級(jí)次，優(yōu)化的光柵展示出超過(guò)90％的衍射效率。此外，還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 


 

設(shè)計(jì)任務(wù)

 

1級(jí)參數(shù)優(yōu)化

 

結(jié)果-容差分析

 

結(jié)果-容差分析

 

VirtualLab Fusion一瞥

 

VirtualLab Fusion中的工作流程

 

構(gòu)建光柵結(jié)構(gòu)
−使用特殊材料的光柵結(jié)構(gòu)設(shè)定[用例]
−傾斜光柵高級(jí)設(shè)定[用例]
•光柵衍射效率分析
−光柵階序分析器[用例]
•使用參數(shù)優(yōu)化進(jìn)行光柵參數(shù)優(yōu)化
•使用參數(shù)運(yùn)行的容差分析

 

VirtualLab Fusion技術(shù)

 

文件信息

 

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