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VirtualLab Fusion應(yīng)用:振幅

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檢查微型晶片的光學(xué)系統(tǒng)
時(shí)間:2018-01-19 11:55來源:訊技光電作者: 技術(shù)部點(diǎn)擊:次打印
成像系統(tǒng)>包括光柵
 
任務(wù)/系統(tǒng)說明
 
 
亮點(diǎn)

 
在復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)中,包含光柵(如,非常大的數(shù)值孔徑(NA))
嚴(yán)格分析光柵衍射效率
考慮入射光的方向分布
 
說明:光源
 
 
說明:光束分束器
 
 
說明:檢測透鏡系統(tǒng)
 
 
說明:微型晶片
 
 
說明:檢測物鏡
 
 
說明:探測器
 
 
結(jié)果:3D光線追跡(只有0級)
 
 
結(jié)果:3D光線追跡(所有級)
 
 
結(jié)果:光線追跡

 
結(jié)果:場追跡

 
結(jié)果:線性偏振光的場追跡
 

 
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